Endüstriyel vakum proseslerinde gaz cinsinden bağımsız, mutlak ve kararlı bir basınç ölçümü elde etmek için tasarlanan INFICON CDG015D, iki farklı basınç skalası (2000/1100 mbar ve 500/200 Torr) varyasyonlarıyla hassas kontrol sağlar. Korozyona dayanıklı alüminyum oksit seramik ($Al_2O_3$) ve paslanmaz çelik (AISI 316L) malzemeden üretilen diyafram yapısı sayesinde en agresif kimyasal ortamlarda bile uzun ömürlü veri akışı sunar.
Geleneksel Pirani sensörler gaz kompozisyonuna bağlı olarak okuma hatası yaparken; kapasitif manometreler mekanik diyafram defleksiyonunu doğrudan ölçer. $le 20text{ ms}$ hızlı yanıt süresi ve 4...20 mA analog çıkış sinyali ile otomasyon sistemlerine kusursuz uyum sağlar.
CDG015D serisi, sahadaki proses basınç aralıklarınıza göre iki temel teknik varyasyon ile sunulmaktadır:
2000 / 1100 mbar ; 1000 Torr aralığında çalışan, daha geniş kaba ve orta vakum basınç adımlarını izleyen standart endüstriyel modeldir.
Doğruluk: %1 (Okuma yüzdesi)500 / 200 Torr aralığında çalışan, daha dar bandda üst düzey hassasiyet gerektiren hassas kaplama ve reaktör prosesleri için optimize edilmiş modeldir.
Doğruluk: %0.75 (Okuma yüzdesi)| Teknik Parametre | 2000/1100 mbar ; 1000 Torr | 500/200 Torr |
|---|---|---|
| Doğruluk (Accuracy) | %1 (Okuma yüzdesi) | %0.75 (Okuma yüzdesi) |
| Çözünürlük (Resolution) | %0,05 (Yüzde FS) | |
| Analog Çıkış Sinyali | 4 ... 20 mA (Ölçüm aralığı sıfır ... FS) | |
| Yanıt Süresi (Response Time) | $le 20text{ ms}$ | |
| Vakuma Maruz Kalan Malzemeler | Alüminyum oksit seramik ($Al_2O_3$), paslanmaz çelik (AISI 316L) | |
Prosesinize uygun basınç aralığı ve analog çıkış varyasyonu tespiti için mühendislik departmanımızla görüşün.
